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電子電工儀器

多功能效驗儀繼電器綜合電阻測試儀絕緣電阻測試儀高頻脈沖雷達物位計避雷器在線監測儀數顯蓄電池檢測儀射頻導納料位計智能數顯電動機保護器靜電接地報警儀變壓器繞組溫控器變壓器油面溫控器便攜式數字聲級計數字多功能型噪音計手持式溫濕度儀溫濕度儀表傳感器風速/風向儀測溫儀表其它壓力/數顯/電量儀表信號器數顯控制器測量儀表變送器電壓/電流表硬度計電焊機校驗儀

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數字式四探針測試儀

SZT-2000型數字式四探針測試儀是根據四探針測

試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置，它可以

測量棒狀、塊狀半導體材料的電阻率和半導體擴散

層的薄層電阻進行測量，可以從10-6--105Ω—cm全

量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電

阻，是硅材料質量監測的必需儀器。

產品型號：SZT-2000
廠商性質：經銷商
更新時間：2018-10-10
瀏覽次數：655

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產品詳情

數字式四探針測試儀

型號：SZT-2000

儀器資料：

SZT-2000型數字式四探針測試儀是根據四探針測

試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置，它可以

測量棒狀、塊狀半導體材料的電阻率和半導體擴散

層的薄層電阻進行測量，可以從10-6--105Ω—cm全

量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電

阻，是硅材料質量監測的必需儀器。

儀器為臺式結構，分為電氣箱、測試架兩大部分，

用戶可以根據測試需要安放在一般工作臺或者

工作臺上，測試架由探頭及壓力傳動機構、樣品架

組成，耐磨和使用壽命長的特點。探頭內設有彈簧

壓力裝置，壓力從0—2Kg連續可調，測試架設有手

動和電動兩種裝置供用戶選購。

儀器電氣箱主要由高靈敏的直流數字電壓表和高穩

定的恒流源組成，測量結果由數字直接顯示，儀器

有自校量程，可以方便地對儀器的電氣性能進行校

驗。

儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、測量

范圍廣、結構緊湊、使用方便等特點，儀器適用于

半導體材料廠、器件廠、科學研究部門、高等院

校，對半導體材料的電阻性能測試及工藝檢測。

儀器主要技術指標：

1．范圍：電阻率10-4—103Ω—cm，可擴展至105

Ω—cm，分辯率為10-6Ω—cm

方塊電阻10-3—103Ω/□

電阻10-6—105Ω

2．可測半導體尺寸：直徑Φ15—150mm

3．測量方式：軸向、斷面均可（手動測試架）

4．數字電壓表（1）量程0.2mV、2mV、20mV、

200mV、2V

（2）測量*.2mV檔±（0.3%讀數+8字）

2mV檔以上±（0.3%讀數+2字）

（3）輸入阻抗0.2mV、2mV擋105Ω

20mV檔以上>108Ω

（4）顯示31/2位數字顯示，0—1999

具有極性和過載自動顯示，小數點、單位自動顯示

5．恒流源：（1）電流輸出：直流電流0—100mA

連續可調，由交流電源供給

（2）量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

五檔

（3）電流誤差：±（0.3%讀數+2字）

6．四探針測試探頭（1）探頭間距：1mm（2）

探針機械游率：±0.3%

（3）探針：Φ0.5mm（4）壓

力：可調

7.測試架：

（1）手動測試架：探頭上升及下降由手動操

作，可以用作軸向和斷面的單晶棒和硅片測試。

（2）電動測試架：探頭的上升和下降由電動操

作，設有自動控制器控制，探頭上升時間1S—99S

可調，探頭下降時間1S—99S可調，壓力恒定可調

（由砝碼來設定）同時設有腳踏控制裝置由腳踏開

關控制探頭上下運動。

8.電流：220V±10%50HZ或60HZ：功率消耗

<35W

9．外形尺寸：電氣箱130×110×400mm

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